Литосфера -> Атмосфера -> Гидросфера -> Биосфера.
Объяснение:
Сначала на земле образовалась твёрдая оболочка - литосфера. Из-за падения воздушных тел на нашу планету начала образовываться атмосфера. Следующие падения астероидов принесли нам воду, создав гидросферу. В воде началась зарождаться первая жизнь - биосфера.
