Используется для определения рельефа поверхности с разрешением от десятков ангстрем вплоть до атомарного.
В отличие от сканирующего туннельного микроскопа, с атомно-силового микроскопа можно исследовать как проводящие, так и непроводящие поверхности. Ввиду не только сканировать, но и манипулировать атомами, назван силовым.
